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Advanced Energy面向埃米时代推出变革性的等离子功率控制技术

信息来源 : 网络|发布时间 : 2023-07-17 09:43|浏览次数 : 2854

高度工程化精密电源转换、测量和控制解决方案的全球领导者Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)发布下一代稳定和可重复的精密射频功率电源系统,协助客户在下一代半导体制造中实现最大化的产出和收益。

Advanced Energy面向埃米时代推出变革性的等离子功率控制技术(照片:美国商业资讯)

eVerest™射频信号发生器专为埃米时代蚀刻和沉积工艺所需的精确等离子控制打造,能够实现高度可配置的多电平功率脉冲,从而集成到任何现有等离子功率输送系统中并改进这些系统。该平台提供3至10千瓦的输出功率和1至60兆赫的频率,并能实现高达100千赫的高精度脉冲频率。此外,本产品提供高速输出设定值响应、过渡状态之间的受控过冲以及能访问复杂物联网数据生态系统的功能,协助制造商开发用于sub-2 nm沉积和蚀刻剖面的先进、可重复工艺。

Advanced Energy负责等离子功率产品的高级副总裁Juergen Braun表示:“半导体行业的使命是经由日渐小型化的芯片交付更高性能,而我们现下正迈向埃米时代,其中,日渐复杂的3D结构和创新工艺可以实现原子精度级别的尺寸测量。四十多年来,Advanced Energy一直处于半导体行业工艺等离子功率输送和控制系统的前沿。经由不断创新,我们得以保持这一领导地位,并满足了埃米时代设备制造商对变革性高精度等离子控制的需求,继而增加了工艺窗口,拓宽了稳定的操作范围,从而实现产出和收益最大化。”

eVerest是一个完整的射频功率输送系统,具有适用于阻抗匹配解决方案的多种选择,并可与其他Advanced Energy的创新产品(例如eVoS™偏压解决方案)实现智能同步,从而实现即时或用户定义的过渡步骤时序控制,继而优化蚀刻和沉积动力学。eVerest的高速射频输出响应低于200µs,脉冲状态上升/下降时间可低至2µs以下。动态多级脉冲控制为能量状态和分布开辟了各种新的可能性,而可编程过冲确保了可靠的点火,以及在具有较长脉冲关闭状态的过程中重建等离子的能力。

当与PowerInsight by Advanced Energy™物联网数据生态系统集成时,基于eVerest的解决方案允许运营人员访问高清、高带宽的嵌入式或系统级数据。这些数据提供了可操作的洞见,支持更快、更准确的过程表征和故障排除,并且无需访问等离子室安装示波器,从而减少了停机时间。





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